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溅射中国“芯”

发布时间：

2018-09-05

来源：

　　在靶材制造的过程中，需要经历粉末冶炼、粉末混合、压制成型、气氛烧结、塑性加工、热处理、超声探伤、机械加工、水切割、机械加工、金属化、绑定、超声测试、超声清洗、检验出货，共计15道工序。

　　粉末冶炼：对原料粉末进行前期的气氛烧结，对原料粉末中气体含量进行控制。

　　粉末混合：靶材有着独特的配方，需精确的控制各组分的含量，并严格限制杂质含量，在粉末冶金的过程中，需要将各元素充分混合均匀，粒度分布均匀，防止污染

　　并要通过特殊工艺手段制备成混合型复粉。

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